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ウェハ自動光学検査装置

ウェハ自動光学検査装置

異物、キズ、キズムラを自動検出し、ウェハマップに反映。

ウェハ自動光学検査装置

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マクロ検査装置

マクロ検査装置

ピンセットの代わりに自動搬送し、非接触で裏面も観察。

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裏面クラック検査装置

裏面クラック検査装置

バックグラインド時に発生するクラックを自動検出。

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光学顕微鏡検査装置

光学顕微鏡検査装置

複雑な検査レシピを自動化、高速化。

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マーカー・インカー

マーカー・インカー

フェイルチップを高速でマーキング。

マーカー・インカー

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ソーター

ソーター

ソーター

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卓上ローダー

卓上ローダー

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製造装置用大型ローダー

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