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ウェハ自動光学検査装置

ウェハは薄いし、検査内容も特殊、
そんな、検査工程を自動化

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お客様はとても困っていました。
もし、自動検査装置を導入しても、
・せっかく導入したのに操作が複雑すぎて現場が使ってくれない。
・ウェハが薄すぎて導入後にトラブルの発生が多いと予想される。
と。

さらに、もし、自動検査装置を売っていたとしても、
通常の自動検査装置は操作が難しく、トレーニングも大変。装置も高価です。
さらに、今回は特殊なウェハを検査するためには膨大な追加費用がかかることが目に見えていました。

こんなお客様のお悩みを、あるとき弊社代理店の敏腕営業マンが聞きつけてきたのです。

アテルは
「オペレーターが開始ボタンを押すだけで、ほとんど非接触な状態で薄くて割れやすいウェハを自動検査する装置が作れます」と提案しました。

なぜ、アテルはこんな提案ができたのか?

アテルは今までタイコウェハ、反ったウェハ、薄いウェハ、脆いウェハなど、取り扱いが困難なウェハを搬送できる検査装置を数多く提供してきた実績があります。
又、アテルはフルオーダーで装置を作る会社です。なので、必要な検査機能に絞った装置にできるのです。
さらに、ハードもソフトも設計から製造まで一貫して行っているため使いやすいハード、使いやすいソフトを実現できる実績と自信を持っていました。
結果、ウェハのサンプルをお借りし、デモ機を作成し、何度もお客様と打ち合わせを繰り返し、
「これなら大丈夫だろう」とお墨付きを頂き、発注いただいたのです。
そして、無事に納品することができました。

要望に応じ対応できる自動検査項目

ウェハ表面、裏面のキズ、膜剥がれ、異物、各種測長
ウェハ表面のチップ電極部のプローバー針痕
ウェハ裏面のバックグラインド後の微細クラック
ウェハ周辺部のチッピング、欠け、クラック

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