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ソーター

タイコウェハなど、脆くてハンドリングの難しいウェハを
ピンセット無しで反転移載

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とある会社にタイコウェハの工程がありました。

その工程では、せっかく製造しても、ピンセットを使ってカセットからカセットへ移し替えていました。

ところが、タイコウェハは、ちょっと間違えた場所を持っただけで、簡単にウェハが割れてしまいます。
そう、カセット間で入れ替えるだけで、せっかくの製品が破損してしまうことが多々発生したのです。。

こんなお客様から、ある時、相談を受けました。

そこで、アテルは
「ウェハのエッジ部だけ接触し、表裏反転も可能なソーター」を提案しました。

なぜ、アテルはこんな提案ができたのか?

他社でもソーターは売っています。
しかし他社の装置はタイコウェハが扱えません。

アテルは過去のタイコウェハ、反ったウェハ、薄いウェハ、脆いウェハなど、取り扱いが困難なウェハを搬送する技術を生かし、タイコウェハでも安全に移載できるソーターを作ることができたのです。

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