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マクロ検査装置

タイコウェハなど、脆くてハンドリングの難しいウェハを
ピンセット無しでマクロ検査

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とある会社でタイコウェハの工程を立ち上げることになりました。
しかし、せっかく製造しても、品質検査はピンセットを使ってするしかありません。
しかもタイコウェハは、ちょっと間違えた場所を持っただけで、簡単にウェハが割れてしまいます。
せっかくの製品が破損してしまう。
こんなお客様のお悩みを、あるとき弊社代理店の敏腕営業マンが聞きつけてきたのです。

アテルは
「ウェハのエッジ部だけ接触し、表も裏も360度、好きな角度から自由自在に観察できるモーター駆動式のマクロ検査装置」を提案しました。

なぜ、アテルはこんな提案ができたのか?

他社でもマクロ検査装置は売っています。
しかし他社の装置は裏面を自由自在に観察できないのです。
又、通常売っている装置は吸着式ばかり。なので、そもそも、タイコウェハは持てません。
アテルは過去のタイコウェハ、反ったウェハ、薄いウェハ、脆いウェハなど、取り扱いが困難なウェハを搬送する技術を生かし、タイコウェハでも安全に観察できるマクロ検査装置を作ることができたのです。

特徴

X軸は180度、Y軸は360度旋回可能(つまり表裏を自由自在に観察可能)
ウェハは無限旋回可能
X軸、Y軸はジョイスティックで自在に動作。
X軸、Y軸はプリセットボタンであらかじめ定めた位置に自動で移動。
X軸、Y軸、旋回軸共に速度調整可能。
特許取得済み

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