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光学顕微鏡検査装置

ずっと使っていなかった古い顕微鏡を再活用。
ピンセット無しで顕微鏡へ自動搬送

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とある会社で新規に工程を立ち上げることになりました。
しかし、テスター後のプローバー針痕を検査するための顕微鏡は手動式の古いモノしかありません。
なのに、この新しい工程ではピンセットによる顕微鏡観察はできません。
それどころか、ウェハの表面はもちろん、裏面も触れてはいけない製品です。
お客様は大変こまっていました。

こんなお客様のお悩みを、あるとき弊社代理店の敏腕営業マンが聞きつけてきたのです。

アテルは
「顕微鏡へのローディングの自動化はもちろん、古い顕微鏡のXYステージを電動ステージにする」ことを提案しました。
もちろん、ウェハのエッジ部を除き、表面も裏面も非接触です。

実は、この分野、大手が次々と撤退していて、新規に設備を買おうと思っても、代替になるものがありません。
変えたとしても、裏面を吸着するタイプ。
お客様のご要望とマッチする装置がなかったのです。

アテルは過去のタイコウェハ、反ったウェハ、薄いウェハ、脆いウェハなど、取り扱いが困難なウェハを搬送する技術を生かし、裏面すら触れることができないウェハでも安全に観察できる光学顕微鏡検査装置を作ることができたのです。

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