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卓上ローダー

卓上なのに、
薄いウェハを安全に搬送できる

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薄いウェハを卓上で安全に顕微鏡に運べる装置が欲しい。
そんな声を以前からお客様からお聞きしていました。

特に、間違った場所をピンセットで持つと簡単に割れてしまう極端に薄いウェハを製造する工程などでは、
顕微鏡でウェハを見るだけでも一苦労。

しかし、他に良い方法がないからピンセットで運ぼうとする。でも製品が簡単に割れてしまう。

こんな少しでも安全にウェハを観察したい、という声を、お聞きしていたのです。

そこで、アテルは「 80μm以下の薄いウェハでも卓上で顕微鏡まで安全に自動搬送できる、マクロ観察機能付きローダー」を開発しました。
この装置は通常の作業机と顕微鏡さえ有れば、ピンセットでウェハを触れることなく、自動で顕微鏡までローディングします。
また、アライメントユニットにX軸、Y軸、反転軸を追加しましたので、表面も裏面もマクロ検査が可能です。

アテルは今までタイコウェハ、反ったウェハ、薄いウェハ、脆いウェハなど、取り扱いが困難なウェハを搬送できる検査装置を数多く提供してきた実績があります。
だから80μm以下の薄いウェハでも安全に観察できる卓上ローダーを作ることができたのです。

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