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裏面クラック検査装置

人の目で探すしかなかった
クラック検出を自動化

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ウェハのバックグラインドを実施している製品において、研磨時の微細なゴミが大きな問題になることがあります
それは、クラック。
このクラック、通常は、マクロ検査で人間が一枚一枚チェックしています。
しかし、いかんせん、時間も人手もかかる。
そう、現場で働く作業者は少なくなるばかりなのに、人手のかかるマクロ検査が自動化できない。だから生産量もなかなか増やせない。
なので、なんとか自動化したいと思っているエンジニアも多いでしょう。

アテルは、通常マクロ検査で人間の目で発見するしかなかったバックグラインド時に発生する微細なクラックを高速で自動検査する装置を開発しました。

実は、このクラック検査、前々から数社のお客様から「できないか?」と打診を受けていたのです。

しかし、簡単にできるものではありません。
魔鏡方式や共焦点方式もやってみました。
しかし、魔鏡方式や共焦点方式はウェハの平坦度などの条件がシビア。さらに、条件が整っていても、ウェハの微妙な反りなども全て拾うため検出できてもクラックだけを識別することが困難。

アテルはウェハ上のクラックを検出する手法にトライし続けました。そして、ウェハの状態に左右されにくい方法を発見することができたのです。
又、アテルは自社で自動検査のソフトを作成しています。なので、クラックとその他のノイズを明瞭に分離することができました。

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