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製造装置用大型ローダー

反りの大きい異形基板を、
製造装置まで安全に搬送

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新規ライン設置に伴い、とある製造装置に基板をローディングする必要がありました。
しかし、市販品で要求を満たす装置がありません。製造装置メーカーもローディングの経験がありません。
こんなお客様のお悩みを、あるとき弊社代理店の敏腕営業マンが聞きつけてきたのです。

そこで、アテルは提案しました。
「反りの大きい異形のウェハを安全に搬送するローダーを作ります」と。

アテルは今までタイコウェハ、反ったウェハ、薄いウェハ、脆いウェハなど、取り扱いが困難なウェハを搬送できる検査装置を数多く提供してきました。
だから接触可能な場所が極端に限られた、反り量もまちまちな異形基板でも安全に観察できるローダーを作ることができたのです。

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